| Autor: | Chung, Chunhui Kao, Imin |
|---|---|
| ISBN: | 9780470061213 |
| Sprache: | Englisch |
| Produktart: | Gebunden |
| Verlag: | Wiley |
| Veröffentlicht: | 29.01.2021 |
| Untertitel: | Shaping of Single Crystal Silicon Wafers |
| Schlagworte: | Electrical & Electronics Engineering Electronic materials Elektronische Materialien Elektrotechnik u. Elektronik Halbleiter Materials Processing Materials science Materialverarbeitung Materialwissenschaften Wafer |