Sputtering by Particle Bombardment II
| ISBN: | 9783662311691 |
|---|---|
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 394 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Herausgeber: | Behrisch, R. |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Veröffentlicht: | 23.08.2014 |
| Untertitel: | Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography |
| Schlagworte: | Elektronenstrahlung Festkörper Ionenbeschuss Neutronenstrahlung Oberfläche compound development electron electrons heavy ion |