Silizium-Planartechnologie
Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.
| Autor: | Schönauer, Tim Wagemann, Hans-Günther |
|---|---|
| ISBN: | 9783519004677 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 212 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Vieweg & Teubner |
| Veröffentlicht: | 30.10.2003 |
| Untertitel: | Grundprozesse, Physik und Bauelemente |
| Schlagworte: | Bauelement Diode Halbleiter Kondensatoren MOS Planartechnologie Silizium Transistor integrierter Schaltkreis |
Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H.G. Wagemann, TU Berlin Dr. Tim Schönauer, Infineon Technologies AG