Rare-Earth Implanted MOS Devices for Silicon Photonics
| Autor: | Rebohle, Lars Skorupa, Wolfgang |
|---|---|
| ISBN: | 9783642265587 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 174 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Veröffentlicht: | 01.12.2012 |
| Untertitel: | Microstructural, Electrical and Optoelectronic Properties |
| Schlagworte: | Electroluminescence MOS technology Nanocluster formation Rare earth implantation Si-based light emission photonics |