Prozeßtechnologie
| Autor: | Schumicki, Günter Seegebrecht, Peter |
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| ISBN: | 9783540176701 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 500 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Veröffentlicht: | 08.03.1991 |
| Untertitel: | Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen |
| Schlagworte: | CMOS Entwicklung Mikroelektronik Prozeßtechnologie Reinraumtechnik Schaltung Zuverlässigkeit |