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Kurzfassung Technische Systeme und deren Bauteile werden immer kleiner und leistungsfähiger. Gleichzeitig sind Fertigungstechniken zur Herstellung dieser Bauteile gefragt und weiter zu entwickeln. Gerade wenn es um die Herstellung von Prototypen oder individualisierten Produkten geht, sind Fertigungsverfahren mit geringen Investitionskosten und hoher Flexibilität gefordert. Ein Verfahren, welches diese Anforderungen erfüllt, ist das Mikrofräsen; allerdings fehlt es bislang an Prozessverständnis beim Einsatz von Mikrofräswerkzeugen 50 µm. Hauptziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Prozess-Maschine-Interaktion (PMI) beim Mikrofräsen am Beispiel von cp-Titan herauszuarbeiten um dann Ansätze für die bestmögliche Prozessauslegung zu geben. Ansatzpunkte hierfür sind die Entwicklung einer neuartigenWerkzeugmaschine, die Minimierung der Rundlaufabweichung des Spindel-Werkzeug-Systems, sowie die Beschichtung von Mikrofräswerkzeugen mit einem Durchmesser 50 µm. Hierzu wurde eineWerkzeugmaschine aufgebaut, welche es erlaubt Mikrofräser ohne Umspannvorgang herzustellen und anzuwenden. Durch die Möglichkeit auf die Werkzeugumspannung zu verzichten, kann die Rundlaufabweichung verringert oder der Rundlauf gezielt variiert werden. Hierbei wurde gezeigt, dass bei der Zerspanung von cp-Titan die Spindeldrehzahl/Schnittgeschwindigkeit einen größeren Einfluss auf die Bauteilqualität und den Werkzeugverschleiß hat als die Rundlaufabweichung. Werkzeugverschleiß und Aufbauschneidenbildung erhöhen sich mit steigender Spindeldrehzahl. Die höheren Spindeldrehzahlen sind allerdings notwendig, da die luftgelagerten Spindeln mit steigender Drehzahl an Steifigkeit zunehmen. Somit muss der Prozessparameterbereich erhöht und der Werkzeugverschleiß reduziert werden, um einen bestmöglichen Mikrofräsprozess zu erreichen. Eine Möglichkeit hierzu ist die Beschichtung von Mikrofräswerkzeugen mittels Titandiborid. Mit der Schicht konnte das Zeitspanvolumen um den Faktor vier erhöht und die Bauteilqualität signifikant verbessert werden. Die erzielten Erkenntnisse führen zu einem Prozessverständnis, welches auf die Zerspanung von weiteren Werkstoffen übertragen werden kann. So wird die Effizienz des Mikrofräsens erhöht und die Erschließung neuer Anwendungsfelder der Mikrofräsbearbeitung möglich.