Physical Vapor Deposition of Thin Films
Autor: | Mahan John E. |
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ISBN: | 9780471330011 |
Sprache: | Englisch |
Produktart: | Gebunden |
Verlag: | Wiley |
Veröffentlicht: | 08.02.2000 |
Schlagworte: | Atomic and Molecular Physics Beschichten Dünnschichttechnik Electronic devices and materials Materials Science Special Topics Materials science Materialwissenschaften Spezialthemen Materialwissenschaften |