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Die Dissertationsschrift befasst sich mit reflektiven aberrationskorrigierenden Beugungsgittern für spektroskopische Zwecke, welche mittels Ultrapräzisionsmaschinen hergestellt werden. Im Fokus der Arbeit steht die Ergründung der erreichbaren optischen Kennwerte in Zusammenhang mit der fertigendenden Maschinenkinematik.