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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Autor: Hilleringmann, Ulrich
ISBN: 9783835100039
Sprache: Deutsch
Seitenzahl: 274
Produktart: Kartoniert / Broschiert
Verlag: Vieweg & Teubner
Veröffentlicht: 25.04.2006
Untertitel: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Schlagworte: Berechnung BranchenIndex Online Elektronik Fachinformatiker Ingenieurstudium Mikrosystem (MEMS) Mikrosystemtechnik Privatdozent Prüfungsvorbereitung Sensor
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.