Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
| Autor: | Grund, Thomas |
|---|---|
| ISBN: | 9783866444966 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 125 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | KIT Scientific Publishing |
| Veröffentlicht: | 01.06.2010 |
| Schlagworte: | Aktorik Formgedächtnislegierung Mikrosystemtechnik Serienfertigung Ventil |