Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
| Autor: | Olbrich, Walter |
|---|---|
| ISBN: | 9783540585114 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 126 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Veröffentlicht: | 21.10.1994 |
| Schlagworte: | Energie Entwicklung Fallen Messverfahren Optimierung Orientierung Rauheit Technologie Temperatur Thermisch |