Emerging Technologies for In Situ Processing
| ISBN: | 9789401071307 |
|---|---|
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 304 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Herausgeber: | Ehrlich, D.J. Van Tran Nguyen |
| Verlag: | Springer Netherland |
| Veröffentlicht: | 26.09.2011 |
| Schlagworte: | Phase Wafer X-Ray development laser liquid manufacturing semiconductor devices semiconductors thin films |