Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden
Autor: | Höfflinger, Bernd |
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ISBN: | 9783531031330 |
Sprache: | Deutsch |
Seitenzahl: | 42 |
Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
Verlag: | VS Verlag für Sozialwissenschaften |
Veröffentlicht: | 01.01.1982 |
Schlagworte: | CMOS Dioden Fassung Fotodiode Kanal Lebensdauer Messung Messverfahren Optimierung Profil |